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    KSI  V300E V400E V700E V1000E 超聲波掃描顯微鏡 超聲波掃描聲學(xué)顯微鏡、高分辨超聲成像儀、LED分層缺陷檢測(cè)方案、高分辨 C 掃檢測(cè)系統(tǒng)  掃描機(jī)械機(jī)構(gòu) ①X、Y軸最大掃描區(qū)域:300mm×300mm ②X/Y軸均是高精度線性伺服電機(jī),最大掃描速率:2000mm/s,重復(fù)精度: ± 0.1μm ③Z軸是高精度自鎖步進(jìn)電機(jī),最大行程:100mm, 重復(fù)精度:± 0.25μm 3.2.探頭配置 低噪 FCT 高產(chǎn)能探頭共 3 個(gè),頻率分別是 15MHz 一個(gè)、30MHz 一個(gè)、 75MHz 一個(gè) 3.3.電腦系統(tǒng) ①I(mǎi)ntel 酷睿......

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